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產品分類：BROOKS質量流量控制器 / Brooks質量流量計
5866M模擬金屬密封壓力式質量流量控制器
模擬橡膠密封; 流量范圍:0-30000 sccm;
壓力范圍:7.25 psia -1450 psia FS(橡膠密封);
7.25 psia -72.5 psia FS(金屬密封);
精度:±0.5% FS
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